八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法

摘要

一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法，该装置由准直光源、圆起偏器、衍射光栅、聚焦透镜、衰减器、检偏器阵列、光电探测器阵列和信号处理系统组成，本发明能实时地测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角，而且测量结果不受光源光强波动的影响。

主权项

一种八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角的测量装置，其特征在于，该装置由准直光源(1)、圆起偏器(2)、衍射光栅(4)、聚焦透镜(5)、衰减器(6)、检偏器阵列(7)、光电探测器阵列(8)和信号处理系统(9)组成，其位置关系是：沿所述的准直光源(1)的光束前进方向上，依次是所述的圆起偏器(2)、衍射光栅(4)、聚焦透镜(5)、衰减器(6)、检偏器阵列(7)、光电探测器阵列(8)，在所述的圆起偏器(2)和所述的衍射光栅(4)之间设置待测八分之一波片(3)的插口；所述的衰减器(6)置于所述的衍射光栅产生的零级子光束的前进方向上；所述的圆起偏器(2)由一个线起偏器和一个四分之一波片组成，所述的四分之一波片的快轴与所述的线起偏器的透光轴所成的角度为45°或者135°；所述的检偏器阵列(7)由三个结构相同的第一检偏器(701)、第二检偏器(702)、第三检偏器(703)在同一个平面内直线排列形成，并分别位于所述的衍射光栅(4)所产生的+1级子光束、零级子光束和‑1级子光束的方向，所述的第一检偏器(701)、第二检偏器(702)、第三检偏器(703)的透光轴与所述的圆起偏器(2)中的线起偏器的透光轴所成的角度分别为0°、45°和90°；所述的光电探测器阵列(8)是由三个结构相同的第一光电探测器(801)、第二光电探测器(802)和第三光电探测器(803)在同一个平面内直线排列形成，并分别置于所述的检偏器阵列(7)的第一检偏器(701)、第二检偏器(702)、第三检偏器(703)的输出光方向；所述的光电探测器阵列(8)的第一光电探测器(801)、第二光电探测器(802)和第三光电探测器(803)的信号输出端与所述的信号处理系统(9)的输入端相连。