一种三明治式平动式闭环硅微加速度计

摘要

一种三明治式平动式闭环硅微加速度计，包括上固定电极(6)、可动硅电极、下固定电极(7)。可动硅电极的可动部分包括：8个A杆(2)、8个B杆(4)、4个C梁(3)和敏感质量块(5)。2个A杆(2)、2个B杆(4)与1个C梁(3)为一组。同一组中，2个A杆(2)相同轴；2个B杆(4)相同轴；A杆(2)与B杆(4)相平行，且A杆(2)与C梁(3)的对称轴相垂直；C梁(3)的一端通过2个A杆(2)与锚区(1)相连，C梁(3)的另一端通过2个B杆(4)与敏感质量块(5)相连。采用本发明的加速度计结构可以在国内现有微机械工艺下，仅用三层圆片实现大敏感质量、大敏感电容正对面积的闭环硅微加速度计，达到了二阶扭转模态超过一阶平动模态自振频率四倍以上的效果。

主权项

一种三明治式平动式闭环硅微加速度计，包括上固定电极(6)、可动硅电极、下固定电极(7)，可动硅电极与上、下电极间有相等的微米量级间距，可动硅电极包括锚区(1)与可动部分，锚区(1)用于实现可动硅电极与上电极和下电极的相对固定，其特征在于：可动硅电极的可动部分包括：8个A杆(2)、8个B杆(4)、4个C梁(3)和敏感质量块(5)；2个A杆(2)、2个B杆(4)与1个C梁(3)为一组；同一组中，2个A杆(2)相同轴；2个B杆(4)相同轴；A杆(2)与B杆(4)相平行，且A杆(2)与C梁(3)的对称轴相垂直；C梁(3)的一端通过2个A杆(2)与锚区(1)相连，C梁(3)的另一端通过2个B杆(4)与敏感质量块(5)相连。