使激光光束做大范围移动及扫描动作的机构

摘要

本发明公开了属于半导体制造设备范围的使激光光束做大范围移动及扫描动作的机构。激光器、反射镜及处理激光光束的光路组件安装于光学腔中，其中激光器、处理激光束的光路组件分别安装在光学腔两个竖直腔内，光学腔安装于支撑座上，利用该机构，可以在较大范围内移动激光光束，使其对不同的工作站进行扫描或者步进扫描，并覆盖所要处理的全部晶圆片表面。该机构还可以对激光光束进行扩束、匀束、光斑整形、准直等光学处理。光路组件部分处于扫描机构的后面，并且随扫描过程也做同步的移动，通过这样的方式，使作用于工作站上的晶圆片表面不同区域的激光光束稳定一致，从而能够保证激光加工工艺质量的均匀性，稳定性，并实现激光光束利用的高效率。

主权项

一种使激光光束做大范围移动及扫描动作的机构，其特征在于，激光器、反射镜及处理激光光束的光路组件安装于光学腔中，其中激光器、处理激光束的光路组件分别安装在光学腔两个竖直腔内，第一反射镜固定于激光器上方，第一反射镜与第二反射镜相对安装在光学腔的水平腔中，第二反射镜固定在处理激光束的光路部件上方，安装有激光器的光学腔的竖直腔安装于支撑座上，在支撑座周围呈圆形排列各独立工作站，光学腔及其中的光路组件都可围绕激光器及所在光学腔竖直腔的轴线在360度范围内旋转。