可实现聚焦和跟踪伺服以获得可控亚微米直径激光光斑输出的方法及系统

摘要

本发明属应用光学领域。涉及可实现聚焦和跟踪伺服以获得可控亚微米直径激光光斑输出的方法及系统。本发明利用宏微结合的三维纳米精密移动台及运动控制系统驱动精密光学系统，实现对一定频率的激光光束在XY平面上的灵活调节与纳米级精确定位，同时实现对激光光斑在Z轴方向上的精确聚焦，以获得可控亚微米直径的激光光斑。本系统可实现输出0.5～2微米的聚焦激光光斑在X、Y、Z轴方向的纳米级精确定位。

主权项

可实现聚焦和跟踪伺服以获得可控亚微米直径激光光斑输出的方法，其特征是利用宏微结合的三维纳米精密移动台及运动控制系统驱动精密可调光学系统，对激光器输出的1mm直径的激光束进行调节，实现激光光束在XY平面内的跟踪伺服以及在Z轴方向上的聚焦伺服，实现纳米级定位精度下的可控亚微米直径激光光斑的输出；所述的可控亚微米为0.5～2μm；所述的宏微结合的三维纳米精密移动台：三维宏动台：分辨率为1.0μm(X)×1.0μm(Y)×1.0μm(Z)，最大行程为5mm(X)×5mm(Y)×100mm(Z)；三维微动台：分辨率为3.0nm(X)×3.0nm(Y)×2.5nm(Z)，最大行程为30μm(X)×30μm(Y)×25μm(Z)。