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发明名称 Energy filter for cold field emission electron beam apparatus
摘要
申请公布号 EP2051278(B1) 申请公布日期 2011.09.07
申请号 EP20070020340 申请日期 2007.10.17
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 ZHOU, FANG;FROSIEN, JUERGEN;ADAMEC, PAVEL
分类号 H01J37/05;H01J37/073;H01J37/153;H01J49/48 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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