一种垂直结构片上集成螺旋电感

摘要

本实用新型涉及一种垂直结构片上集成螺旋电感。现有的螺旋电感存在额外的衬底能量损耗，降低了电感Q值。本实用新型处于同一芯片内的第一引线层、第二引线层、第一金属层、第二金属层、第三金属层、第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔。第一引线层的一端通过第一通孔与第一金属层的一端连接，第一金属层的另一端依次通过第二通孔、第三通孔与第三金属层的一端连接；第三金属层的另一端通过第四通孔与第二金属层的一端连接，第二金属层的另一端与第二引线层的一端连接。本实用新型节省芯片面积，提高了电感品质因数。

主权项

一种垂直结构片上集成螺旋电感，包括处于同一芯片内的第一引线层、第二引线层、第一金属层、第二金属层、第三金属层、第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔，其特征在于：第一引线层的一端通过第一通孔与第一金属层的一端连接，第一金属层的另一端依次通过第二通孔、第三通孔与第三金属层的一端连接；第三金属层的另一端通过第四通孔与第二金属层的一端连接，第二金属层的另一端与第二引线层的一端连接；所述的金属层均为条形片状结构；所述的第一通孔和第二通孔位于第一金属层和第二金属层之间；所述的第三通孔和第四通孔位于第二金属层和第三金属层之间；所述的第一引线层、第二引线层和第二金属层处于同一平面上，且第一引线层和第二金属层之间相互绝缘；所述的第一金属层、第二金属层和第三金属层之间相互平行；所述的第一金属层的中轴线、第二金属层的中轴线和第三金属层的中轴线位于同一平面内，且该平面垂直于芯片上下表面。