发明名称 声表面波器件及声表面波振荡器
摘要 本发明提供声表面波器件及声表面波振荡器。用于形成IDT的压电基板采用石英基板,是以利用<img file="dda0000053499340000011.GIF" wi="195" he="50" />表示的欧拉角为(0°,95°≤θ≤155°,33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的,在构成IDT的梳齿状电极的电极指之间形成电极指间槽,把由电极指间槽夹持的晶体部分作为电极指座,电极指位于电极指座的上面,在石英基板的表面设置反射器,在声表面波的传播方向夹入IDT,在构成反射器的导体条之间形成导体条间槽,具有由导体条间槽夹持的导体条座和在其上面形成的导体条,在把IDT的阻带上端频率设为ft2、把反射器的阻带下端频率设为fr1、把反射器的阻带上端频率设为fr2时,满足fr1<ft2<fr2。
申请公布号 CN102176664A 申请公布日期 2011.09.07
申请号 CN201110082396.5 申请日期 2009.02.18
申请人 爱普生拓优科梦株式会社 发明人 饭泽庆吾
分类号 H03H9/145(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I 主分类号 H03H9/145(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 黄纶伟;马建军
主权项 1.一种声表面波器件,具有作为至少激励瑞利波式声表面波的电极图案的IDT,激励所述声表面波的阻带的上限模式,所述声表面波器件的特征在于,用于形成所述IDT的压电基板采用石英基板,该石英基板是以利用<img file="FDA0000053499310000011.GIF" wi="185" he="50" />表示的欧拉角为(0°,95°≤θ≤155°,33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的,在构成所述IDT的梳齿状电极的电极指之间形成有电极指间槽,把由所述电极指间槽夹持的晶体部分作为电极指座,所述电极指位于该电极指座的上面,在所述石英基板的表面上,以在所述声表面波的传播方向上夹着所述IDT的方式设置有反射器,在构成所述反射器的导体条之间形成有导体条间槽,具有由所述导体条间槽夹着的导体条座和在其上面形成的所述导体条,在设所述IDT的阻带上端频率为ft2、设所述反射器的阻带下端频率为fr1、设所述反射器的阻带上端频率为fr2时,满足fr1<ft2<fr2。
地址 日本东京都