发明名称 |
冷凝装置以及酸槽系统 |
摘要 |
本实用新型提出的一种冷凝装置,固定在风管的外壁,所述冷凝装置包括:内层套管和外层套管,所述内层套管紧贴所述风管的外壁,所述外层套管套设在所述内层套管外,所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。本实用新型还提出了一种酸槽系统,在酸雾通过风管时就将酸雾中的水蒸气最大限度地与酸气进行分离,以酸液的形式从排液管道排出,避免酸雾在风管中凝结,大大增强风管抽排酸雾能力的问题。 |
申请公布号 |
CN201959582U |
申请公布日期 |
2011.09.07 |
申请号 |
CN201020679276.4 |
申请日期 |
2010.12.24 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
彭利;肖方 |
分类号 |
B01D5/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01D5/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种冷凝装置,固定在风管的外壁,其特征在于,所述冷凝装置包括:内层套管和外层套管,所述内层套管紧贴所述风管的外壁,所述外层套管套设在所述内层套管外,所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |