发明名称 冷凝装置以及酸槽系统
摘要 本实用新型提出的一种冷凝装置,固定在风管的外壁,所述冷凝装置包括:内层套管和外层套管,所述内层套管紧贴所述风管的外壁,所述外层套管套设在所述内层套管外,所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。本实用新型还提出了一种酸槽系统,在酸雾通过风管时就将酸雾中的水蒸气最大限度地与酸气进行分离,以酸液的形式从排液管道排出,避免酸雾在风管中凝结,大大增强风管抽排酸雾能力的问题。
申请公布号 CN201959582U 申请公布日期 2011.09.07
申请号 CN201020679276.4 申请日期 2010.12.24
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 彭利;肖方
分类号 B01D5/00(2006.01)I 主分类号 B01D5/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种冷凝装置,固定在风管的外壁,其特征在于,所述冷凝装置包括:内层套管和外层套管,所述内层套管紧贴所述风管的外壁,所述外层套管套设在所述内层套管外,所述外层套管与内层套管之间设置有制冷物质。
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