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发明名称 PLASMA REACTOR FOR ABATEMENT OF HAZARDOUS MATERIAL
摘要
申请公布号 KR101063515(B1) 申请公布日期 2011.09.07
申请号 KR20100091074 申请日期 2010.09.16
申请人 KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 发明人 HUR, MIN;LEE, DAE HOON;LEE, JAE OK;CHA, MIN SUK;KIM, KWAN TAE;SONG, YOUNG HOON
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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