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发明名称 NANO-IMPRINTING SYSTEM BY USING FLEXIBLE CHUCK
摘要
申请公布号 KR101063402(B1) 申请公布日期 2011.09.07
申请号 KR20110013024 申请日期 2011.02.14
申请人 KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 发明人 KIM, GEE HONG;LIM, HYUNG JUN;LEE, JAE JONG;CHOI, KEE BONG
分类号 B29C33/38;B29C33/30;B29C43/32 主分类号 B29C33/38
代理机构 代理人
主权项
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