| 发明名称 |
METHOD AND CONTAINER FOR FILLING SOLID ORGANOMETALLIC COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110099079(A) |
申请公布日期 |
2011.09.06 |
| 申请号 |
KR20110080409 |
申请日期 |
2011.08.12 |
| 申请人 |
TOSOH FINECHEM CORPORATION |
发明人 |
TOMIYASU SHIZUO;TOKUDOME KOHICHI;HAGA KENICHI |
| 分类号 |
B01J8/02;H01L21/205;C23C16/18;C23C16/44;C23C16/448;C30B25/00;H01L21/02 |
主分类号 |
B01J8/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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