晶片载具

主权项

一种晶片载具，至少包含：一晶舟，具有复数个插槽，每一该插槽支称其承载晶片的底边与侧边；以及一晶梳，具有复数定位片，相邻该定位片之间形成一定位槽以定位该晶片的顶边。如申请专利范围第1项所述之晶片载具，其中该定位片具有一近似三角形的截面。如申请专利范围第1项所述之晶片载具，其中该晶梳的材质为聚醚酰亚安。如申请专利范围第1项所述之晶片载具，其中该晶梳的材质系一种抗氢氟酸材质。如申请专利范围第4项所述之晶片载具，其中该晶梳的材质为聚醚酰亚安。