| 主权项 |
一种强化型扩散板，设置于一镀膜设备的设置板上，该强化型扩散板包含：一连接部，用以连接于该镀膜设备的设置板上；一底板部，包括一与该连接部相间隔的板体，以及多数形成于该板体上的贯穿孔；以及一弯折部，连接该底板部与连接部，该弯折部并与该连接部、底板部相配合界定出一分流室，该弯折部包括一与该分流室同侧的内弯折段，以及一相反于该内弯折段的外弯折段，该内弯折段与外弯折段的最短切线厚度为4.06mm至6.72mm之间。根据申请专利范围第1项所述的强化型扩散板，其中，该内弯折段的弧度半径为3.0mm至10.0mm之间。根据申请专利范围第2项所述的强化型扩散板，其中，该外弯折段的弧度半径为1.0mm至3.0mm之间。根据申请专利范围第3项所述的强化型扩散板，其中，该弯折部的内弯折段之弧度半径为3.0mm，该外弯折段的弧度半径为1.5mm。根据申请专利范围第1项所述的强化型扩散板，其中，该底板部的每一贯穿孔具有一连通于该分流室的大孔径段、一连通于外界的小孔径段，以及一由该大孔径段朝小孔径段渐缩的中肩段，该中肩段与水平线的夹角为10度至35度。根据申请专利范围第5项所述的强化型扩散板，其中，每一贯穿孔的中肩段与水平线的夹角为12度。根据申请专利范围第1项所述的强化型扩散板，其中，该底板部的每一贯穿孔具有一连通于该分流室的大肩段、一连通于该大肩段的大孔径段、一连通于外界的小肩段、一连通于该小肩段的小孔径段，以及一由该大孔径段朝小孔径段渐缩的中肩段，该中肩段与水平线的夹角为10度至35度，该大肩段是由该大孔径段朝该分流室方向渐扩，该小肩段是由该小孔径段朝外界方向渐扩。根据申请专利范围第7项所述的强化型扩散板，其中，每一贯穿孔的大肩段弧度半径为0.02mm至0.08mm之间，该小肩段弧度半径为0.02mm至0.08mm之间。根据申请专利范围第7项所述的强化型扩散板，其中，每一贯穿孔的大肩段弧度半径为0.05mm，该小肩段弧度半径为0.05mm。根据申请专利范围第7项所述的强化型扩散板，其中，每一贯穿孔的中肩段与水平线的夹角为12度。根据申请专利范围第1至10项中任一项所述的强化型扩散板，其中，该弯折部的截面厚度不小于该底板部之板体的截面厚度。根据申请专利范围第1至10项中任一项所述的强化型扩散板，其中，该板体具有一连接于该弯折部的外围段，以及一受该外围段所围绕的中央段，该外围段的平均厚度是大于该中央段的平均厚度。根据申请专利范围第12项所述的强化型扩散板，其中，该板体的厚度是由该外围段向该中央段渐减，该外围段最大厚度与该中央段最小厚度的差值小于1mm。 |
