| 主权项 |
一种平面移动装置，包含：一移动滑台；一第一驱动机构，驱动该移动滑台沿第一轴向移动；一第二驱动机构，驱动该移动滑台沿第二轴向移动；以及一基台，承载该移动滑台、第一驱动机构及第二驱动机构；其中该第一驱动机构及第二驱动机构之驱动系各自独立，且该移动滑台沿第一轴向和第二轴向移动时互不干涉。根据请求项1之平面移动装置，其中该第一轴向及第二轴向成正交。根据请求项1之平面移动装置，其中该第一驱动机构包含一第一推动件及一第二推动件，分别推动该移动滑台之第一侧面及与第一侧面相对侧之第二侧面，使该移动滑台沿该第一轴向移动。根据请求项3之平面移动装置，其中该第二驱动机构包含一第三推动件及一第四推动件，分别推动该移动滑台之第三侧面及与第三侧面相对侧之第四侧面，使该移动滑台沿该第二轴向移动，其中该第一推动件及第二推动件移动时之高度位置与第三推动件及第四推动件移动时之高度位置不同。根据请求项4之平面移动装置，该第一推动件及第二推动件推动该移动滑台之高度位置与第三推动件及第四推动件推动该移动滑台之高度位置不同。根据请求项3之平面移动装置，其中该第一推动件及第二推动件系包含于一第一框架。根据请求项4之平面移动装置，其中该第三推动件及第四推动件系包含于一第二框架。根据请求项1之平面移动装置，其中该移动滑台与基台间系由空气轴承支承。根据请求项1之平面移动装置，其中该第一驱动机构包含一第一框架，该第一框架包含第一边杆及相对边之第二边杆分别推动该移动滑台之第一侧面及与第一侧面相对侧之第二侧面，使该移动滑台沿该第一轴向移动。根据请求项9之平面移动装置，其中该第二驱动机构包含一第二框架，该第二框架包含第三边杆及相对边之第四边杆分别推动该移动滑台之第三侧面及与第三侧面相对侧之第四侧面，使该移动滑台沿该第二轴向移动。根据请求项10之平面移动装置，其中该第一框架移动时之高度位置与第二框架移动时之高度位置不同，互不干涉。根据请求项10之平面移动装置，其中沿该第二轴向该第一框架之内框宽度大于移动滑台之宽度，且沿该第一轴向该第二框架之内框宽度大于移动滑台之宽度。根据请求项10之平面移动装置，其中该第一及第二框架系透过空气轴承或线性滑轨推动该移动滑台。根据请求项10之平面移动装置，其中该第一驱动机构另包含第一导轨，导引该第一框架沿该第一轴向移动，且该第二驱动机构另包含第二导轨，导引该第二框架沿该第二轴向移动。根据请求项14之平面移动装置，其中该第一导轨与第一框架间，及第二导轨与第二框架间系透过空气轴承或线性滑轨移动。根据请求项14之平面移动装置，其中该第一导轨设置于第一框架的两侧，提供该第一框架于第二轴向之拘束；及该第二导轨设置于第二框架的两侧，提供该第二框架于第一轴向之拘束。根据请求项14之平面移动装置，其中该第一驱动机构另包含第一导螺杆，驱动该第一框架沿该第一轴向移动，且该第二驱动机构另包含第二导螺杆，驱动该第二框架沿该第二轴向移动。 |
