| 主权项 |
一种溅镀机之冷却装置，配置在一溅镀机上，其中该溅镀机系包含有一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及数置物板，其中该溅镀源可进行溅镀作业，该输送带结构两侧设置一防着板结构，且可输送一置物板经过溅镀源，该置物板可提供被镀物放置；其特征在于：该防着板结构或/及输送带结构之异于溅镀区方向表面，锁设固定可拆离之冷却装置，以冷却装置强制降温溅镀废热。如申请专利范围第1项所述之溅镀机之冷却装置，其中该冷却装置更包含有一控制结构，藉由该控制结构控制冷却效率。如申请专利范围第1、2项所述之溅镀机之冷却装置，其中该冷却装置为水冷循环式冷却装置。如申请专利范围第1、2项所述之溅镀机之冷却装置，其中该冷却装置为液冷循环式冷却装置。如申请专利范围第1、2项所述之溅镀机之冷却装置，其中该冷却装置为热管冷却装置。如申请专利范围第2项所述之溅镀机之冷却装置，其中该控制结构为泵浦装置。如申请专利范围第2项所述之溅镀机之冷却装置，其中该控制结构为压缩机装置。如申请专利范围第2项所述之溅镀机之冷却装置，其中该控制结构为风扇装置。如申请专利范围第1项所述之溅镀机之冷却装置，其中该防着板结构更包含有至少二防着板，该二防着板锁设于溅镀机之输送带结构两侧，冷却装置则锁设于二防着板之异于溅镀区表面。如申请专利范围第1项所述之溅镀机之冷却装置，其中该输送带结构更包含有一区隔板，冷却装置装设于区隔板之异于溅镀区表面。 |
