| 主权项 |
一种图形资料之验证装置，其特征为具备：第1分配部，输入设计资料，将前述设计资料所含有之图形分配成45度之整数倍之角度以外之任意角图形及由45度之整数倍之角度所构成之非任意角图形；第2分配部，输入从前述设计资料所转换之描绘资料，将前述描绘资料所含有之图形分配成对应前述任意角图形之第1图形及对应前述非任意角图形之第2图形；第1运算部，利用前述任意角图形之资料及前述第1图形之资料，实施互斥或运算；第2运算部，利用前述非任意角图形之资料及前述第2图形之资料，实施互斥或运算；第1除去部，从前述任意角图形之资料及前述第1图形之资料之运算结果所产生之图形除去小于第1容许误差值之尺寸之图形；以及第2除去部，从前述非任意角图形之资料及前述第2图形之资料之运算结果所产生之图形除去小于第2容许误差值之尺寸之图形。如申请专利范围第1项所记载之图形资料之验证装置，其中前述第2容许误差值系使用小于前述第1容许误差值之值。如申请专利范围第2项所记载之图形资料之验证装置，其中前述第1容许误差值系对应任意角之值而变化。如申请专利范围第1项所记载之图形资料之验证装置，其中前述描绘资料，系转换成利用荷电粒子束于试料描绘图形图案之描绘装置之输入格式之资料。一种图形资料之验证装置，其特征为具备：运算部，输入设计资料及从前述设计资料所转换之描绘资料，利用前述设计资料所含有之图形之资料及前述描绘资料所含有之图形之资料，实施互斥或运算；分配部，将运算结果所产生之图形分配成45度之整数倍之角度以外之任意角图形及由45度之整数倍之角度所构成之非任意角图形；第1除去部，从前述任意角图形除去小于第1容许误差值之尺寸之图形；以及第2除去部，从前述非任意角图形除去小于第2容许误差值之尺寸之图形。如申请专利范围第5项所记载之图形资料之验证装置，其中前述第2容许误差值系使用小于前述第1容许误差值之值。如申请专利范围第6项所记载之图形资料之验证装置，其中前述第1容许误差值系对应任意角之值而变化。如申请专利范围第5项所记载之图形资料之验证装置，其中前述描绘资料，系转换成利用荷电粒子束于试料描绘图形图案之描绘装置之输入格式之资料。一种图形资料之验证方法，其特征为：输入设计资料，输入从设计资料所转换之描绘资料，将前述设计资料所含有之图形分配成45度之整数倍之角度以外之任意角图形及由45度之整数倍之角度所构成之非任意角图形，将前述描绘资料所含有之图形分配成对应前述任意角图形之第1图形及对应前述非任意角图形之第2图形，利用前述任意角图形之资料及前述第1图形之资料，实施互斥或运算，利用前述非任意角图形之资料及前述第2图形之资料，实施互斥或运算，从前述任意角图形之资料及前述第1图形之资料之运算结果所产生之图形除去小于第1容许误差值之尺寸之图形，从前述非任意角图形之资料及前述第2图形之资料之运算结果所产生之图形除去小于第2容许误差值之尺寸之图形，输出除去后之结果。一种图形资料之验证方法，其特征为：输入设计资料，输入从设计资料所转换之描绘资料，利用前述设计资料所含有之图形之资料及前述描绘资料所含有之图形之资料，实施互斥或运算，将运算结果所产生之图形分配成45度之整数倍之角度以外之任意角图形及由45度之整数倍之角度所构成之非任意角图形，从前述任意角图形除去小于第1容许误差值之尺寸之图形，从前述非任意角图形除去小于第2容许误差值之尺寸之图形，输出除去后之结果。 |
