发明名称 打印设备
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.09.01
申请号 TW095105132 申请日期 2006.02.15
申请人 东芝机械股份有限公司 发明人 饭村幸生;钟本政和;小久保光典
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种打印设备,包含:一安装件,以支撑一物件主体;一支座,其支撑一模板,该模板架构用于在该物件主体上打印一图案,该支座界定一轴及沿着该轴可控制地移向该安装件,并可绕着该轴摆动;及三或更多调整机组,其附接至该支座及环绕着该轴呈间隔配置,每一该调整机组包含一与该支座接触之致动器,以便摆动该支座,将该支座定位在相对于该物件主体的所欲角度方位并维持该角度方位;及一距离测量装置,其架构用于测量至该物件主体之一距离,该三或更多调整机组的该等致动器及该等距离测量装置彼此分别相对应地配置;和一控制器,其架构用于计算调整电压,以由该等距离测量装置所分别测得之值驱动该等致动器,所以该方位被三维地调整,以保持该模板的该打印面和该物件主体的表面之间的平行度。如申请专利范围第1项之打印设备,其中该支座包含一加热器,以加热该物件主体。如申请专利范围第1项之打印设备,另包含:一照明装置,以照明该模板,该照明装置包含选自附接至该支座之光源及光学导路的群组之一,该光学导路附接至该支座,以引导一外部光源之光线。如申请专利范围第1项之打印设备,其中每一该等致动器包含选自压电元件及磁致伸缩元件的群组之一。如申请专利范围第1项之打印设备,其中每一该等距离测量装置包含选自一CCD位移感测器,一雷射位移感测器,一LED位移感测器,一超音波感测器,及一接触位移感测器的群组之一。如申请专利范围第1项之打印设备,其中该计算调整电压包括计算该复数距离量测装置之每一者的位置和对应致动器的位置间的偏差。
地址 日本