| 主权项 |
一种用于在一真空室(17)中处理工件之真空电浆产生器(1、1a、60)，其包括：一用于连接至一电压供应网路之电源接头(2)；至少一电源整流器(3)，其连接至用于产生至少一中间电路电压之至少一第一转换器(4、4a)；一第一RF讯号产生器(6、7、20、40、50)，其连接至该至少一中间电路电压，以用于产生一具有一基频，详言之，范围在1至30 MHz之间，且具有一第一相位之第一讯号；一第二RF讯号产生器(6、7、20、40、50)，其连接至一中间电路电压，以用于产生一具有该基频且具有一第二相位之第二讯号；至少一3 dB耦合器(13、77-91)，其将该第一及该第二讯号耦合为一输出讯号，将该输出讯号间接地或直接地传输至一产生器输出端(14、92)。如请求项1之产生器，其特征为该第一及该第二RF讯号产生器(6、7、20、40、50)各自被设计成由一开环及/或闭环控制构件(12)来驱动之变流器。如请求项2之产生器，其特征为各变流器具有一半桥或全桥。如请求项1之产生器，其特征为提供了至少一电容器(8、9、51、52)以用于电流退耦。如请求项1之产生器，其特征为一脉冲整形网路(10、11、31)被连接至该第一及该第二RF讯号产生器(6、7、20、40、50)之每一者之下游。如请求项1之产生器，其特征为该3 dB耦合器(13、77-91)包括至少一第一导电体及一第二导电体，其经隔开且电容及电感地相互耦合，其中该第一导体表示一变压器之主要侧且该第二导体表示该变压器之次要侧，该第一及该第二导体各自具有一n>1之绕组数。如请求项1之产生器，其特征为该3 dB耦合器(13、77-91)包括至少一第一导电体及一第二导电体，其经隔开且电容及电感地相互耦合，其中该第一导体表示一变压器之主要侧且该第二导体表示该变压器之次要侧，且其中至少一增电感元件被提供于一耦合区中以增加该等导体之电感。如请求项6或7之产生器，其特征为该至少一第一导体及/或第二导体之长度为<λ/4。如请求项6或7之产生器，其特征为该至少一第一导体及/或第二导体之长度为<λ/8。如请求项6或7之产生器，其特征为该至少一第一导体及/或第二导体之长度为<λ/10。如请求项1之产生器，其特征为该3 dB耦合器(13、77-91)具有一<50欧姆之特性波阻抗。如请求项1之产生器，其特征为该3 dB耦合器(13、77-91)具有一<20欧姆之特性波阻抗。如请求项1之产生器，其特征为提供了至少两个转换器(4、4a)以产生中间电路电压，其中每一转换器(4、4a)与至少一RF讯号产生器(6、7、20、40、50)相关联。如请求项1之产生器，其特征为该至少一转换器(4、4a)包括一输入端(18、18a)以用于连接一开环及/或闭环控制构件(12)。如请求项14之产生器，其特征为该开环及/或闭环控制构件(12)被设计成可程式化逻辑组件。如请求项14之产生器，其特征为该开环及/或闭环控制构件(12)被设计成DSP。如请求项1之产生器，其特征为在该真空电浆产生器(1、1a、60)处提供了一阻抗匹配电路(16)以用于将该产生器(1、1a、60)之阻抗调整至一电浆负载之阻抗。如请求项1之产生器，其特征为该/该等转换器(4、4a)被设计成升压转换器及/或降压转换器。 |
