发明名称 WAFER EQUIVALENT, METHOD FOR PRODUCING IT AND USE
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Waferäquivalents, bei dem auf ein perforiertes Substrat dotierte Halbleiterschichten aufgebracht und im Anschluss kristallisiert werden. Ebenso betrifft die vorliegende Erfindung ein auf mit dem voranstehenden Verfahren hergestelltes Waferäquivalent sowie dessen Verwendungszwecke.</p>
申请公布号 WO2011103994(A1) 申请公布日期 2011.09.01
申请号 WO2011EP00826 申请日期 2011.02.21
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITAET FREIBURG;JANZ, STEFAN;MITCHELL, EMILY;LINDEKUGEL, STEFAN 发明人 ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITAET FREIBURG;JANZ, STEFAN;MITCHELL, EMILY;LINDEKUGEL, STEFAN
分类号 H01L31/0224;H01L21/02;H01L31/068;H01L31/18 主分类号 H01L31/0224
代理机构 代理人
主权项
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