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发明名称 SLOW VACCUM TEST APPARATUS AND TEST METHOD FOR TESTING VALVE FUNCTION
摘要
申请公布号 KR20110098209(A) 申请公布日期 2011.09.01
申请号 KR20100017701 申请日期 2010.02.26
申请人 NEXCLE CO., LTD. 发明人 CHUNG, HAK JAE;LEE, KWANG HYUN;KIM, JONG HO;GO, CHUL YOUN
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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