Mikromechanisches Drucksensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Mit der vorliegenden Erfindung wird die Realisierung eines sehr robusten, hochtemperaturtauglichen und weitgehend miniaturisierbaren Sensorelements zur Absolutdruckmessung vorgeschlagen. Das mikromechanische Drucksensorelement (100) umfasst eine Sensormembran (1) mit rückseitigem Druckanschluss (5) und mindestens einen dielektrisch isolierten Piezowiderstand (21, 22) zur Signalerfassung. Das Drucksensorelement (100) ist außerdem mit einem vorderseitigen Referenzvolumen (3) ausgestattet, das durch eine die Sensormembran (1) überspannende Kappenstruktur (4) abgeschlossen ist. Die Kappenstruktur (4) ist in einem Dünnschichtaufbau realisiert.