Verfahren zur Fertigung einer optischen Anordnung mit mindestens zwei optischen Funktionsflächen, optisches Gerät und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Fertigung einer optischen Anordnung mit mindestens zwei in fester Lagebeziehung zueinander auf einer gemeinsamen Tragstruktur (9) angeordneten optischen Funktionsflächen (5, 6), bei dem durch eine Bearbeitungsmaschine (15) in verschiedenen Prozessschritten mindestens zwei optische Funktionsflächen (5, 6) und zumindest eine Referenzstruktur (13) mit definierter und messbarer relativer Lage zu den optischen Funktionsflächen (5, 6) hergestellt werden, wobei die Tragstruktur (9) bis zur Vollendung der genannten Prozessschritte fest mit der Bearbeitungsmaschine (15) verbunden bleibt und wobei anschließend die optischen Funktionsflächen (5, 6) relativ zu der zumindest einen Referenzstruktur (13) vermessen werden und eine Abweichung von einer Sollform und Sollposition bestimmt wird, wonach die genannten Prozessschritte mindestens einmal mit einer geänderten Ansteuerung der Bearbeitungsmaschine (15) wiederholt werden. Die Erfindung betrifft ferner ein optisches Gerät mit einer derart hergestellten optischen Anordnung sowie eine Vorrichtung zur Durchführung eines derartigen Verfahrens.