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发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20110098307(A)
申请公布日期
2011.09.01
申请号
KR20100017864
申请日期
2010.02.26
申请人
SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY FOUNDATION FOR CORPORATE COLLABORATION
发明人
YEOM, GEUN YOUNG;KANG, SE KOO;JEON, MIN HWAN;PARK, JONG YUN;PARK, BYOUNG JAE;YEON, JE KWAN
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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