发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110098307(A) 申请公布日期 2011.09.01
申请号 KR20100017864 申请日期 2010.02.26
申请人 SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY FOUNDATION FOR CORPORATE COLLABORATION 发明人 YEOM, GEUN YOUNG;KANG, SE KOO;JEON, MIN HWAN;PARK, JONG YUN;PARK, BYOUNG JAE;YEON, JE KWAN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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