| 发明名称 | 一种清洗真空吸盘定位部件的装置 | ||
| 摘要 | 一种清洗真空吸盘定位部件的装置，包括：上盖和基板，所述上盖与基板通过合叶连接，上盖沿合叶转动，从而使上盖与基板间开启和闭合；其中，光罩薄膜和真空吸盘定位部件位于基板上方，并且在上盖和基板闭合时，上盖完全覆盖光罩薄膜，而不覆盖真空吸盘定位部件。本实用新型由于上盖对被覆盖的光罩薄膜具有保护作用，不会因擦拭真空吸盘定位部件而刮伤光罩薄膜，因此能够更有效地清洗真空吸盘定位部件。 | ||
| 申请公布号 | CN201950055U | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
| 申请号 | CN201020656029.2 | 申请日期 | 2010.12.10 |
| 申请人 | 和舰科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 马如贵;何如兵;凌成伟;章进东 |
| 分类号 | B08B13/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种清洗真空吸盘定位部件的装置，其特征在于，包括：上盖和基板，所述上盖与基板通过合叶连接，上盖沿合叶转动，从而使上盖与基板间开启和闭合；其中，光罩薄膜和真空吸盘定位部件位于基板上方，并且在上盖和基板闭合时，上盖完全覆盖光罩薄膜，而不覆盖真空吸盘定位部件。 | ||
| 地址 | 215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||