测量物理参数的方法和装置

摘要

本发明涉及测量诸如在扁平、碟状且易碎物件的常规处理过程期间作用于其上的机械力的物理参数的方法和装置。该方法和装置特别用于太阳能电池或太阳能晶圆的制造。根据本发明的方法提供待施加于测试体(1)的处理，测试体(1)具有与所述物件基本相同的几何性质和/或机械性质，并包括至少一个传感器(2)，所述至少一个传感器用于测量在所述测试体的处理过程期间作用于所述测试体(1)的物理参数。优选地，传感器(2)设置在弹性夹层(9)上以放大测量的信号。

主权项

一种测量在常规处理过程期间作用于扁平、碟状且易碎物件的负荷或负荷变化的方法，通过将所述处理应用于测试体(1)，所述测试体具有与所述物件基本相同的几何性质和/或机械性质并且包括至少一个传感器(2)，所述至少一个传感器用于测量在所述测试体的处理过程期间作用于所述测试体的至少一个物理参数，所述至少一个物理参数选自拉力、压力、剪力、压强、弯矩、扭矩、加速力及其组合，其中所述至少一个传感器(2)包括或者被设计为压电塑料膜，并能够将直接且即刻作用于所述传感器上的负荷转换为弯曲力。