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发明名称
METHOD FOR FORMING THE FINE PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
KR20110097493(A)
申请公布日期
2011.08.31
申请号
KR20100017355
申请日期
2010.02.25
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
OH, CHANG IL;BOK, CHEOL KYU
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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