镀膜装置

摘要

一种镀膜装置，其包括一个高压釜及一个喷雾装置。该高压釜包括一个釜体及一个上盖，该釜体的内壁开设有至少一个用于承靠待镀膜基板的基板槽。该喷雾装置包括至少一个溶液腔、至少一个位于该喷雾装置外表面且连通到该溶液腔的喷口及设置于该溶液腔内的超声雾化装置。该喷雾装置固定于该上盖而收容于该高压釜内，且该喷口面向基板槽。由此，基板在基板槽内可接受喷雾装置所喷射出来的雾化溶液，进而进行喷雾热分解镀膜；之后，在高压釜中注入溶液，进而便可对基板进行水热法镀膜。整个过程中无需在不同设备间搬运基板，从而降低了基板粘附上杂质的几率，提高了镀膜的品质。

主权项

一种镀膜装置，其包括一个高压釜及一个喷雾装置；该高压釜包括一个釜体及一个上盖，该釜体的内壁开设有至少一个用于承靠待镀膜基板的基板槽；该喷雾装置包括至少一个溶液腔、至少一个位于该喷雾装置外表面且连通到该溶液腔的喷口及设置于该溶液腔内的超声雾化装置；该喷雾装置固定于该上盖而收容于该高压釜内，且该喷口面向基板槽。