用于集成电路制造设备的通用控制内核系统

摘要

本发明公开了一种用于集成电路制造设备的通用控制内核系统，包括：配置模块，用于在所述内核系统启动时，将对象实例化并将实例化后的对象注册到名称空间中，创建初始名称空间树结构，对所述初始名称空间树结构中的对象进行初始化；控制模块，用于根据配置模块创建的初始名称空间树结构控制高层控制单元调用并执行低层控制单元的服务，其中控制对像的等级由低到高依次为物理层、功能层和操作层，且所述控制对象还包括与所述操作层同等级别的维护层；监控模块，用于监控所述内核系统的条件并在条件满足时独立地执行相应的动作。本发明提供支持软件互锁、数据日志、通信功能的强大应用程序编程接口，通过灵活的配置策略实现组件开发和软件复用。

主权项

一种用于集成电路制造设备的通用控制内核系统，包括：配置模块，所述配置模块用于在所述内核系统启动时，将对象实例化并将实例化后的对象注册到名称空间中，创建初始名称空间树结构，对所述初始名称空间树结构中的对象进行初始化，其中，所述对象映射所述硬件设备的行为；控制模块，所述控制模块用于根据配置模块创建的初始名称空间树结构控制高层控制单元调用并执行低层控制单元的服务，其中控制对像的等级由低到高依次为物理层、功能层和操作层，且所述控制对象还包括与所述操作层同等级别的维护层；和监控模块，所述监控模块用于监控所述内核系统的条件并在条件满足时独立地执行相应的动作。