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发明名称
APPARATUS FOR DETECTING DEFECT ON SUBSTRATE SUFACE USING DIPOLE-SCATTERED BEAM AND METHOD FOR DETECTING THEREOF
摘要
申请公布号
KR20110096785(A)
申请公布日期
2011.08.31
申请号
KR20100016228
申请日期
2010.02.23
申请人
NANO ELECTRO OPTICS CO., LTD.
发明人
KIM, JONG SOO;WEE, HAE SUNG;LEE, CHANG WHAN
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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