发明名称 |
一种小孔流导的测量方法 |
摘要 |
本发明的一种小孔流导的测量方法,特别是流导值小于5×10-9m3/s且为分子流状态下的小孔流导的测量方法,属于测量技术领域。实现该方法的装置由活塞、绝对式压力计、真空阀门、变容室、小孔、真空室、高真空规、真空泵和气瓶组成。本发明测量结束时变容室压力维持在初始压力值,提高了小孔流导测量值的准确性;通过测量活塞的横截面积和移动距离来计算小孔流导,使测量下限可以达到2×10-9m3/s及以下,同时具有较小的测量不确定度;具有较短的测量时间,提高了工作效率。 |
申请公布号 |
CN101900632B |
申请公布日期 |
2011.08.31 |
申请号 |
CN200910259318.0 |
申请日期 |
2009.12.17 |
申请人 |
中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
发明人 |
李得天;冯焱;成永军;张涤新;郭美如 |
分类号 |
G01M10/00(2006.01)I;G01N11/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01M10/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
张利萍 |
主权项 |
一种小孔流导的测量方法,实现该方法的装置由活塞(1)、绝对式压力计(2)、第一真空阀门(3)、变容室(4)、小孔(5)、第二真空阀门(6)、真空室(7)、高真空计(8)、第三真空阀门(9)、第一真空泵(10)、第四真空阀门(11)、第二真空泵(12)、气瓶(13)和第五真空阀门(14)组成;其连接关系为:活塞(1)和变容室采用动密封连接,绝对式压力计(2)通过第一真空阀门(3)与变容室(4)连接,气瓶(13)通过第五真空阀门(14)与变容室(4)连接,第二真空泵(12)通过第四真空阀门(11)与变容室(4)连接,高真空计(8)与真空室(7)直接连接,第一真空泵(10)通过第三真空阀门(9)与真空室(7)连接,变容室(4)通过小孔(5)、第二真空阀门(6)与真空室(7)连接;其特征在于:1)打开第一真空阀门(3),打开绝对式压力计(2),打开第二真空泵(12),打开第四真空阀门(11)对变容室(4)抽真空;2)关闭第四真空阀门(11),打开第五真空阀门(14),对变容室(4)充气,气体压力由绝对式压力计(2)测量,记录读数为p;3)打开第三真空阀门(9),打开第一真空泵(10),对真空室(7)抽真空,真空度由高真空计(8)测量;4)打开第二真空阀门(6),使变容室(4)的气体通过小孔(5)流入到真空室(7),计时为t1;当变容室(4)的压力降低为(1‑1‰)p时,活塞(1)开始推进以减小变容室(4)的容积使变容室(4)的压力上升;活塞面积为A;5)当变容室(4)的压力上升为(1+1‰)p时,活塞(1)停止运动,这时变容室(4)中的压力又开始降低;6)当变容室(4)的压力降低为p时,计时为t2,活塞的移动距离计为s;7)小孔(5)的流导C用C=A×s/(t2‑t1)计算得到;8)用贝赛尔公式计算流导测量不确定度。 |
地址 |
730000 甘肃省兰州市94号信箱 |