发明名称 | 一种光学球面曲率半径的检测方法 | ||
摘要 | 一种光学球面曲率半径的检测方法,涉及光学球面曲率半径的测量方法,它解决了现有测量光学球面的曲率半径的方法存在误差,并且现有测量方法较难精确实现对大曲率半径的球面镜进行测量的问题,其方法为:调整靶标球与干涉仪的相对位置,判断靶标球的曲率中心与干涉仪出射波前焦点是否重合;是,则激光跟踪仪测量靶标球的曲率中心坐标,所述靶标球的曲率中心坐标即为干涉仪出射波前焦点的坐标;否,继续调整靶标球与干涉仪的相对位置;直到待测球面镜达到零条纹干涉状态;采用激光跟踪仪测量待测球面镜上多点的位置坐标;然后将多个值进行平均和统计运算,获得待测光学球面镜的曲率半径。本发明适用于光学测量技术领域。 | ||
申请公布号 | CN102168955A | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
申请号 | CN201110128160.0 | 申请日期 | 2011.05.18 |
申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 王孝坤;李锐刚;郑立功;张学军 |
分类号 | G01B11/255(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/255(2006.01)I |
代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 陶尊新 |
主权项 | 一种光学球面曲率半径的检测方法,其特征是,该方法由以下步骤实现:步骤一、调整靶标球(3)与干涉仪(1)的相对位置,判断所述靶标球(3)的曲率中心与干涉仪(1)出射波前焦点是否重合;如果是,则执行步骤二;如果否,则继续调整靶标球(3)与干涉仪(1)的相对位置;步骤二、激光跟踪仪(2)测量靶标球(3)的曲率中心坐标,所述靶标球(3)的曲率中心坐标即为干涉仪(1)出射波前焦点的坐标;步骤三、反复调整待测球面镜(7)与干涉仪(1)的相对位置,使待测球面镜(7)达到零条纹干涉状态;采用激光跟踪仪(2)测量待测球面镜(7)上多点的位置坐标;获得待测球面镜(7)曲率半径的多个值;步骤四、将步骤三获得待测球面镜(7)曲率半径的多个值进行平均和统计运算,获得待测光学球面镜(7)的曲率半径。 | ||
地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 |