发明名称 光学系统的径向调节装置
摘要 一种用于光学系统的径向调节装置。光学系统包括基部和可动部件。径向调节装置设置基部与可动部件之间以使得可动部件沿径向相对于基部移动。径向调节装置包括:径向驱动机构,其包括弓形弹簧体以及驱动弓形弹簧体的驱动电机,当驱动电机的推杆前进时,弓形弹簧体的中部受到推力而发生变形从而推动可动部件发生径向移动;沿所述可动部件的径向设置的球头柱塞,其包括弹性体以提供可动部件与基部之间的预紧力,从而球头柱塞与弓形弹簧体配合形成平衡,所述平衡达成径向移动并且能够回复。本发明的径向调节装置包括弓形弹簧体和球头柱塞,弓形弹簧体和球头柱塞配合形成平衡。由此,可利用弓形弹簧体和球头柱塞的弹性来进行径向的移动以及回复,结构简单。
申请公布号 CN102169219A 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN201010115133.5 申请日期 2010.02.26
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 周辉;王洪尊
分类号 G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G02B7/02(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种用于光学系统的径向调节装置,所述光学系统包括基部和可动部件,所述径向调节装置设置所述基部与所述可动部件之间以使得所述可动部件沿径向相对于所述基部移动,其特征在于,所述径向调节装置包括:径向驱动机构,包括弓形弹簧体以及驱动所述弓形弹簧体的驱动电机,其中所述弓形弹簧体的一端通过固定在所述基部上,另一端与所述可动部件接触,并且所述弓形弹簧体的弓出部分的中间位置与所述驱动电机的推杆直接接触;并且其中当所述驱动电机的推杆前进时,所述弓形弹簧体的中部受到推力而发生变形,其与所述可动部件连接的一端向前伸出以形成一个径向的张力,从而推动所述可动部件发生径向移动;沿所述可动部件的径向设置的球头柱塞,其一端固定在所述基部上的圆周面,另一端与所述可动部件接触,其中所述球头柱塞包括弹性体以提供所述可动部件与所述基部之间的预紧力,从而所述球头柱塞与所述弓形弹簧体配合形成平衡,所述平衡达成所述径向移动并且能够回复。
地址 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号