| 发明名称 | 盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种由式(I)表示的盐，其中R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X<sup>1</sup>表示C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，R<sup>3</sup>表示氢原子或甲基，并且Z<sup>1+</sup>表示有机抗衡阳离子；以及提供一种含有该盐的光致抗蚀剂组合物。<img file="dsa00000434689400011.GIF" wi="1461" he="267" /> | ||
| 申请公布号 | CN102167676A | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
| 申请号 | CN201110038553.2 | 申请日期 | 2011.02.14 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;坂本宏 |
| 分类号 | C07C381/12(2006.01)I;C07C309/17(2006.01)I;C07C25/18(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;C08F212/14(2006.01)I;C08F220/38(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C381/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 柳春琦 |
| 主权项 | 1.一种由式(I)表示的盐：<img file="FSA00000434689500011.GIF" wi="1202" he="263" />其中R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X<sup>1</sup>表示C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，R<sup>3</sup>表示氢原子或甲基，并且Z<sup>1+</sup>表示有机抗衡阳离子。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||