离子注入机中靶室的一种高效加热装置

摘要

本实用新型属于离子注入技术领域，涉及一种离子注入机中靶室的加热装置。包括绝热绝缘材料制成的平台，朝上一面设有凹槽，凹槽内埋设加热丝，与外部电源相连，在加热丝上放置一层绝缘陶瓷片。平台采用碳酸钙材料制成。加热槽凹槽内的绝缘陶瓷片采用氮化硼薄片。加热丝采用单层加热丝。本实用新型装置能耗很低，发热效率高，可以实现局部高温，而对整个靶室温度影响小，不影响密封性的效果。

主权项

一种离子注入机中靶室的高效加热装置，其特征在于，包括绝热绝缘材料制成的平台(1)，朝上一面设有凹槽(2)，凹槽内埋设加热丝(3)，与外部电源相连，在加热丝上覆盖一层绝缘陶瓷片(4)。