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发明名称
摘要
申请公布号	KR101061334(B1)	申请公布日期	2011.08.31
申请号	KR20117010735	申请日期	2010.10.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;G03F1/32;G03F1/68	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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