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发明名称 APPARATUS FOR EXAMINING A WAFER
摘要
申请公布号 KR20110097485(A) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 KR20100017346 申请日期 2010.02.25
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC.;ADVANCED TECHNOLOGY INC. 发明人 KANG, CHANG HO;LEE, JUM DONG;OH, JI HWAN;SHIN, JAE MOO;YOON, DOO HYUN;AN, DOO BAECK
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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