发明名称 真空泵
摘要 1.产品名称:真空泵。2.用途:可用作物理化学实验器械、分析器械、激光应用器械、电子显微镜、半导体制造装置、溅射装置、真空镀气装置、真空干燥机、冻结干燥机等器械的真空排气装置。3.设计要点:整体形状。4.代表图:立体图。
申请公布号 CN301659945S 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN201130021191.7 申请日期 2011.02.11
申请人 ULVAC机工株式会社 发明人 片冈忠彦;松尾卓
分类号 15-02 主分类号 15-02
代理机构 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 代理人 韩登营;栗涛
主权项
地址 日本宫崎县