用于样本的偏振敏感光频域成像的方法、装置和系统

摘要

提供了用于获取与样本相关联的数据的装置和方法。例如，可以向样本提供至少一个第一电磁辐射并且可以向参考物(例如，无反射参考物)提供至少一个第二电磁辐射。这样的辐射的频率可以以第一特征周期随着时间反复地变化。另外，第一电磁辐射、第二电磁辐射、第三电磁辐射(与第一辐射相关联)或第四电磁辐射(与第二辐射相关联)的偏振状态以短于第一周期的第二特征周期随着时间反复地改变。可以根据偏振状态来提供用于对样本的至少一部分进行成像的数据。另外地或替选地，第三和第四电磁辐射可以被组合以确定样本的至少一部分的轴向反射轮廓。

主权项

一种用于提供与样本相关联的数据的设备，包括：至少一个第一装置，其被配置为向所述样本提供至少一个第一电磁辐射并且向参考物提供至少一个第二电磁辐射，其中由所述至少一个第一装置提供的辐射的频率以第一特征周期随着时间反复地变化；至少一个第二装置，其被配置为以第二特征周期随着时间反复地改变所述第一电磁辐射、所述第二电磁辐射、第三电磁辐射或第四电磁辐射中的至少一个电磁辐射的偏振状态；以及至少一个第三装置，其被配置为根据所述偏振状态来提供用于对所述样本的至少一部分进行成像的数据，其中，所述第三电磁辐射与所述至少一个第一辐射相关联并且所述第四电磁辐射与所述至少一个第二辐射相关联，并且其中所述第二特征周期短于所述第一特征周期。