多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法

摘要

本发明涉及一种多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法。系统包含多台多晶硅还原炉和一台换热器；多台多晶硅还原炉串联连接，除第一台还原炉外，其余各台还原炉的进料口和与之相邻的上一台还原炉的出料口相连，且在相连的进料口和出料口之间连接有氢气供应管道；系统中换热器的两个进口分别连接进料管和最后一台还原炉的出料口，两个出口分别连接第一台还原炉的进料口和最终尾气排放口。本发明明显增加了反应物料在还原炉内的停留时间，可以将三氯氢硅的单程转化率提高到30～40％；省去了对每台还原炉的尾气进行分离提纯的步骤，节约了生产成本，减少了各台还原炉进料加热的能量投入，降低了多晶硅生产的能耗。

主权项

一种多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统，其特征是包含多台多晶硅还原炉和一台换热器；其中多台多晶硅还原炉串联连接，除第一台还原炉外，系统中其余各台还原炉的进料口和与之相邻的上一台还原炉的出料口相连，且在相连的进料口和出料口之间连接有氢气供应管道；系统中换热器的两个进口分别连接进料管和最后一台还原炉的出料口，两个出口分别连接第一台还原炉的进料口和最终尾气排放口。