| 发明名称 |
电容测试方法 |
| 摘要 |
本发明公开了多层互连线系统中电容测试方法，以提高电容测试的精确度，其中该方法包括步骤：依照测试信号施加方式，给多层互连线系统中各互连线均施加测试信号；在每次施加测试信号后，测试该多层互连线系统的整体电容值；根据测试出的整体电容值，以及整体电容值和待测电容值的数量关系，计算出待测电容值。 |
| 申请公布号 |
CN102169141A |
申请公布日期 |
2011.08.31 |
| 申请号 |
CN201010113495.0 |
申请日期 |
2010.02.25 |
| 申请人 |
上海北京大学微电子研究院 |
发明人 |
秦晓静;蒋乐乐;程玉华 |
| 分类号 |
G01R27/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01R27/26(2006.01)I |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
一种多层互连线系统中电容测试方法，其特征在于，包括：依照测试信号施加方式，给多层互连线系统中各互连线均施加测试信号；在每次施加测试信号后，测试该多层互连线系统的整体电容值；根据测试出的整体电容值，以及整体电容值和待测电容值的数量关系，计算出待测电容值。 |
| 地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区盛夏路608号 |
