在加工工具中定位电子元件的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于定位可线性位移的电子元件的装置，包括用于电子元件的线性下导向器和线性上导向器，其中，至少一个导向器构成金属平板的一部分，使导向器可垂直于所述金属平板弹性位移。本发明还涉及一种用于定位可线性位移的电子元件的方法。

主权项

一种在加工工具中定位可线性位移的电子元件的装置，包括：线性下导向器，用于对电子元件沿一路径进行导向支撑；和线性上导向器，用于将电子元件的移动自由度限定在距下导向器一距离；其中，至少一个导向器构成金属平板的一部分，所述金属平板具有削薄的部分，由此垂直于金属平板且相对于包围所述导向器的板材，所述导向器可弹性地位移至少0.005毫米，优选至少0.01毫米。