| 发明名称 | 一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置 | ||
| 摘要 | 一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置。所述的保护装置包括金属波纹管(8)、截止阀(9)、两组过滤器(10)和压力检测装置(11)。两组过滤器(10)并联，过滤器(10)进气口的一端通过截止阀(9)与金属波纹管(8)相连，过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级真空泵(12)相连，每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9)，每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11)，金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。 | ||
| 申请公布号 | CN102168666A | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
| 申请号 | CN201110096649.4 | 申请日期 | 2011.04.18 |
| 申请人 | 中国科学院电工研究所 | 发明人 | 刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲 |
| 分类号 | F04B39/16(2006.01)I;F04B49/10(2006.01)I | 主分类号 | F04B39/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 关玲 |
| 主权项 | 一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置，其特征在于所述的保护装置包括金属波纹管(8)、截止阀(9)、两组过滤器(10)和压力检测装置(11)；两组过滤器(10)并联，过滤器(10)进气口的一端通过截止阀(9)与金属波纹管(8)相连，过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级真空泵(12)相连，每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9)，每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11)。金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北二条6号 | ||