发明名称 |
三氯氢硅尾气回收装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置,具体是一种三氯氢硅尾气回收装置,其特征是,包括采用气体管路依次连接的吸收塔、原料气换热器、变压吸附装置,原料气换热器与吸收塔还采用原料气管路连接;吸收塔采用液体管路依次连接吸附剂热交换器、脱洗塔,脱洗塔吸收塔还通过吸附剂管路连接。本实用新型尾气处理彻底,可获得99.99%的氢气和工业用HCI,经济效益显著,且不排放废气、废液。 |
申请公布号 |
CN201949786U |
申请公布日期 |
2011.08.31 |
申请号 |
CN201020701284.4 |
申请日期 |
2010.12.31 |
申请人 |
淄博宝运化工厂 |
发明人 |
宋宜华 |
分类号 |
B01D53/18(2006.01)I;B01D53/047(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I |
主分类号 |
B01D53/18(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种三氯氢硅尾气回收装置,其特征是,包括采用气体管路依次连接的吸收塔、原料气换热器、变压吸附装置,原料气换热器与吸收塔还采用原料气管路连接;吸收塔采用液体管路依次连接吸附剂热交换器、脱洗塔,脱洗塔吸收塔还通过吸附剂管路连接。 |
地址 |
255000 山东省淄博市高新区新华工业园东区 |