发明名称 |
滤波鉴相式动态干涉测量系统 |
摘要 |
本发明涉及一种滤波鉴相式动态干涉测量系统,其由干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统构成,对被检测物体进行光学干涉测量。其干涉光学系统包括光路及移相装置;滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路。本发明提供的测量系统可在恶劣环境下进行在线测量,只需一幅干涉图就能得出测量结果,不降低CCD的分辨率,对测量环境没有特别要求,具有抗干扰能力强、测量精度高、性噪比高、分辨率高、测量时间短等特点。 |
申请公布号 |
CN101706253B |
申请公布日期 |
2011.08.31 |
申请号 |
CN200910191609.0 |
申请日期 |
2009.11.26 |
申请人 |
重庆师范大学 |
发明人 |
何国田;曾智;龙兴明;马燕;曾毅;冉迎春;张德胜 |
分类号 |
G01B9/02(2006.01)I;G01B9/023(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I |
主分类号 |
G01B9/02(2006.01)I |
代理机构 |
重庆华科专利事务所 50123 |
代理人 |
康海燕 |
主权项 |
一种滤波鉴相式动态干涉测量系统,其包括干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统;所述干涉光学系统包括光路及移相装置;滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路,其特征在于:其中所述光学系统包括光源、分束器、准直扩束镜、参考镜、被测物体、光阑、透镜,所述光源、分束器、准直扩束镜、参考镜、被测物体、光阑、透镜和光电探测器依次置于光路中,在参考镜背面固定一移相装置所述光源发出的光依次经过分束器、准直扩束镜、参考镜、移相装置后投射到被测物体表面上,其反射光透过参考镜与参考镜前表面的反射光相遇发生干涉,干涉信号经准直扩束镜、分束器、参考镜、透镜投射到光电探测器的光敏面上将其转换成电信号;所述光电探测器连接信号处理电路,将电信号输入信号处理电路滤除其正弦调制信号,即得到被测量物体的表面形貌;所述同步移相控制电路由信号源、分频器、脉冲发生器、正弦信号源、合成器、直流源、电压放大器构成;信号源连接分频器,经N分频后输出二路,一路连接脉冲发生器,形成窄脉冲,再与光电探测器相连,控制光电探测器的曝光时间;另一路连接正弦信号源,控制正弦信号源产生的正弦信号,正弦信号源与直流源连接合成器,使正弦信号与直流源的直流在合成器中合成后,再连接电压放大器,电压放大器最后连接移相装置,放大驱动移相装置作移相操作,达到正弦移相目的;所述信号处理电路完成放大、乘法、滤波运算。 |
地址 |
400047 重庆市沙坪坝区天陈路12号 |