发明名称 一种硅片的切割方法
摘要 一种硅片的切割方法是,将一根硬细丝(2)拉直,用胶布(1)将其两端固定在操作台上,用玻璃刀在硅片(3)需要切割处的边缘轻轻地点一下,确定切割点(4),将硅片(3)放到硬细丝(2)上,使切割点(4)与硬细丝(2)不仅重合,而且硬细丝(2)的(A-A)方向与硅片(3)的(BC)边垂直,食指和中指轻轻在切割点(4)两旁用力,硅片(3)受到硬细丝(2)的反作用力,就沿着其结晶方向自然分割开,在生成的新切割边上确定新的切割点,重复步骤2、3、4,继续切割分割开的硅片,直至切到所需要的尺寸为止。利用该方法切割的硅片表面不会产生划痕,且切口整齐,能最大限度地利用材料,避免浪费;另外该切割方法操作简单、易行可靠。
申请公布号 CN101219564B 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN200710304302.8 申请日期 2007.12.27
申请人 北京交通大学 发明人 兰惠清
分类号 B28D1/22(2006.01)I 主分类号 B28D1/22(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种硅片的切割方法,其特征是所述的方法包括步骤:步骤1,将一根硬细丝(2)拉直,用胶布(1)将其两端固定在操作台上;步骤2,用玻璃刀在硅片(3)需要切割处的边缘轻轻地点一下,确定切割点(4);步骤3,将硅片(3)放到硬细丝(2)上,使切割点(4)与硬细丝(2)不仅重合,而且硬细丝(2)的A‑A方向与硅片(3)的加工边垂直;步骤4,食指和中指轻轻在切割点(4)两旁用力,硅片(3)受到硬细丝(2)的反作用力,就沿着其结晶方向自然分割开;步骤5,在生成的新切割边上确定新的切割点,重复步骤2、3、4,继续切割分割开的硅片,直至切到所需要的尺寸为止;第一次的切割点(4)位于硅片(3)加工边上,第一次以后的切割点位于前次切割形成的边上。
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