一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，高温氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省了能源。

主权项

一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，其特征在于：从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，高温氯硅烷液体温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。