发明名称 一种高出光率发光二极管制造方法
摘要 本发明公开了一种高出光率发光二极管制造方法,包括如下步骤1)使用气相沉积方法制造LED发光部分(5);2)生长至p型区域时,停止III族MO源的参与反应;3)通入掺杂型MO源做表面预处理而形成阻挡层(4);4)使用气相沉积方法生长正常P型区域,使P型区域与阻挡层(4)间形成表面粗化层(3)。本发明解决了现有技术的缺点,提供了一种方法简单、出光率高的高出光率发光二极管制造方法。
申请公布号 CN102169929A 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN201110045126.7 申请日期 2011.02.25
申请人 聚灿光电科技(苏州)有限公司 发明人 刘慰华
分类号 H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种高出光率发光二极管制造方法,其特征在于:1)使用气相沉积方法制造LED发光部分(5);2)生长至p型区域时,停止III族MO源的参与反应;3)通入掺杂型MO源做表面预处理而形成阻挡层(4);4)使用气相沉积方法生长正常P型区域,使P型区域与阻挡层(4)间形成表面粗化层(3)。
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