发明名称 三氯氢硅尾气吸收装置
摘要 本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置,具体是一种三氯氢硅尾气吸收装置,其特征是,包括采用管路依次连接的吸收塔、热交换器和脱洗塔,脱洗塔塔底与吸收塔塔顶采用吸附剂管路连接,所述脱洗塔塔顶具有冷凝器,塔底与再沸器循环连接。本实用新型能够吸收三氯氢硅尾气中的HCI,经过本实用新型处理后,尾气中氢气含量可达到98.5%,为进一步处理创造了条件。
申请公布号 CN201949784U 申请公布日期 2011.08.31
申请号 CN201020701274.0 申请日期 2010.12.31
申请人 淄博宝运化工厂 发明人 宋宜华
分类号 B01D53/18(2006.01)I 主分类号 B01D53/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种三氯氢硅尾气吸收装置,其特征是,包括采用管路依次连接的吸收塔、热交换器和脱洗塔,脱洗塔塔底与吸收塔塔顶采用吸附剂管路连接。
地址 255000 山东省淄博市高新区新华工业园东区