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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR CONDITIONING A VAPOR DEPOSITION TARGET
摘要
申请公布号 EP2013373(B1) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 EP20070761416 申请日期 2007.04.27
申请人 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. 发明人 ILIC, MILAN;HUFF, ROBERT;MCDONOUGH, GEORGE
分类号 C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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