发明名称 |
一种测量激光束径的系统和方法 |
摘要 |
本发明提供一种测量激光束径的系统和方法,其包括:电动可变光阑、激光功率计、分析和控制装置;所述激光功率计包括功率计探头、功率计控制器;所述电动可变光阑垂直于所述激光的传输方向放置在待测量的位置处,并且所述电动可变光阑、所述功率计探头在所述激光的传输方向上沿所述激光主轴顺序放置,且所述电动可变光阑的通光孔中心对准所述激光主轴,使激光能够通过电动可变光阑的通光孔照射在所述功率计探头上;所述分析和控制装置与所述电动可变光阑电通信,接收关于电动可变光阑孔径的信息并控制所述电动可变光阑的孔径变化;所述分析和控制装置与所述功率计控制器电通信,接收所述功率计测得的激光通过功率。 |
申请公布号 |
CN101839761B |
申请公布日期 |
2011.08.31 |
申请号 |
CN200910080129.7 |
申请日期 |
2009.03.19 |
申请人 |
中国科学院物理研究所 |
发明人 |
凌林;郭红莲;李兆霖;黄璐;张道中;李志远 |
分类号 |
G01J1/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01J1/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 |
代理人 |
王勇 |
主权项 |
一种测量激光束径的系统,其特征在于,包括:电动可变光阑、激光功率计、分析和控制装置;所述激光功率计包括功率计探头、功率计控制器;所述电动可变光阑垂直于所述激光的传输方向放置在待测量的位置处,并且所述电动可变光阑、所述功率计探头在所述激光的传输方向上沿所述激光主轴顺序放置,且所述电动可变光阑的通光孔中心对准所述激光主轴,使激光能够通过电动可变光阑的通光孔照射在所述功率计探头上;所述分析和控制装置与所述电动可变光阑通过所述电动可变光阑控制器电通信,接收关于电动可变光阑孔径的信息并控制所述电动可变光阑的孔径变化;所述分析和控制装置与所述功率计控制器电通信,接收所述功率计测得的激光通过功率。 |
地址 |
100190 北京市海淀区中关村南三街8号 |